|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ КАССЕТЫ С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ ПЛАСТИНАМИ |  |
Номер публикации патента: 2035847 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05K013/02 H01L021/68 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4674936, кл. B 65G 65/00, 1987. |
| Имя заявителя: | Московский институт электронной техники | | Изобретатели: | Гоманьков И.Л.
Масляный А.Д.
Пустыгин В.А.
Редин В.М. | | Патентообладатели: | Московский институт электронной техники |
Реферат | |
Использование: устройство загрузки кассеты с полупроводниковыми пластинами предназначается для загрузки их в чистую зону технологической установки. Сущность изобретения: устройство загрузки пристыковывается к технологической установке, у которой предусмотрено окно для загрузки кассеты. В вертикальном основании сформировано окно, по одну сторону которого размещена герметично уплотненная крышка, по другую сторону расположен контейнер с кассетой полупроводниковых пластин, установленный на платформе
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента