|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ |  |
Номер публикации патента: 2034362 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L021/00 H05K013/02 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4776744, кл. B 65G 1/00. |
| Имя заявителя: | Чикин Сергей Николаевич,Мухин Виктор Иванович | | Изобретатели: | Чикин Сергей Николаевич
Мухин Виктор Иванович | | Патентообладатели: | Чикин Сергей Николаевич
Мухин Виктор Иванович |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в устройствах обработки изделий электронной техники методом ионной имплантации, электронной обработки, магнетронного напыления и т. д. Сущность изобретения: в устройстве обработки изделий электронной техники, включающем механизм обработки, шлюзовую камеру с манипулятором транспортировки, и манипулятор перекладки изделий, имеющий схваты и привод их перемещения, манипулятор перекладки имеет плечи для одновременного
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента