RU 2295846 С2, 20.03.2007. RU 2295845 С2, 20.03.2007. SU 1684302 A1, 15.10.1991. US 4639290 A, 27.01.1987. US 4218283 A, 19.08.1980.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Научно-производственный комплекс "ЭЛАРА" имени Г.А. Ильенко" (ОАО "ЭЛАРА") (RU)
Изобретатели:
Яковлев Юрий Евгеньевич (RU) Владимирова Наталья Николаевна (RU) Федорова Фаина Веняминовна (RU) Смирнов Петр Васильевич (RU) Краснов Максим Александрович (RU) Скворцов Николай Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-производственный комплекс "ЭЛАРА" имени Г.А. Ильенко" (ОАО "ЭЛАРА") (RU)
Реферат
Изобретение относится к способам защиты полиимидных материалов при травлении, применяющихся при конструировании радиоэлектронной аппаратуры для самолето- и вертолетостроения, в частности к способу производства полупроводниковых систем, изготавливаемых на основе полиимида, например гибких печатных плат с открытыми выводами. Технический результат - разработка условий травления полностью полимеризованного полиимида, обеспечивающих точность формы и размеров вытравленных участков, - достигается тем, что способ защиты полиимидных материалов при травлении включает процесс травления участков полиимидного материала щелочными растворами, причем до операции травления полиимидный материал покрывают смесью эпоксиуретанового лака с добавкой олигоэфиракрилата при следующем соотношении компонентов, мас.%: лак эпоксиуретановый 93,7÷95,2, олигоэфиракрилат 4,8÷6,3, а затем участок полиимидного материала, не подлежащий травлению, защищают изоляционным слоем. 3 пр.