На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК | |
Номер публикации патента: 2308179 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H05K003/26 | Аналоги изобретения: | RU 2208920 C1, 20.07.2003. RU 2260873 C1, 20.09.2005. SU 786080 А, 07.12.1980. SU 1089674 А, 30.04.1984. US 2005241678 А, 03.11.2005. DE 10393466 Т, 13.10.2005. |
Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) | Изобретатели: | Никитин Сергей Алексеевич (RU) | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области электротехники, в частности к изготовлению фотошаблонных заготовок, предназначенных для формирования интегральных схем. Техническим результатом изобретения является улучшение качества поверхности заготовок при интенсификацияи процесса очистки поверхности стеклянных и маскированных пластин.
|