|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФОТОШАБЛОННЫХ ЗАГОТОВОК |  |
Номер публикации патента: 2305918 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05K003/28 | | Аналоги изобретения: | RU 2208920 C1, 20.07.2003. RU 2069458 C1, 20.11.1996. SU 811195 А, 07.03.1981. US 2004104043 А, 03.06.2004. US 6426143 А, 30.07.2002. ЕР 1266922 А, 18.12.2002. |
| Имя заявителя: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) | | Изобретатели: | Никитин Сергей Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Закрытое акционерное общество "Элма-Фотма" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к способу получения фотошаблонных заготовок. Для увеличения адгезии фоторезистов к маскирующим слоям хрома и окиси железа в него добавляется 2-3 мас.% лейкопарафуксина (аминопроизводного трифенилметана), что позволяет после соответствующей термообработки улучшить точность воспроизведения критичных элементов интегральной схемы, «подтрав» под пленку резиста не превышает величины 0,1 мкм на сторону, что является техническим результатом изобретени
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента