|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ РЕСТАВРАЦИИ ЗАБРАКОВАННЫХ ПЛАСТИН |  |
Номер публикации патента: 2084088 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H05K003/22 | | Аналоги изобретения: | 1. Ефимов И.Е. и др. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. - М.: Высшая школа, 1977, с. 338. 2. Пресс Ф.П. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов. - М.: Энергия, 1968, с. 94. |
| Имя заявителя: | Акционерное общество "Кремний" | | Изобретатели: | Жилин Л.М.
Матовников В.А.
Шеин Ю.Ф.
Бурьба В.В.
Натарин П.К.
Гайнулин Р.А. | | Патентообладатели: | Акционерное общество "Кремний" |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике. Сущность изобретения: забракованные пластины подвергают финишной и суперфинишной обработке, удаляя сформированные рабочие слои с рабочей стороны пластины. После указанной обработки рабочие слои формируют на обратной стороне пластины. В результате получают возможность повторного использования забракованных пластин.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента