|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ПОДЛОЖКИ ИЗ ФТОРОПЛАСТА |  |
Номер публикации патента: 2020777 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05K003/38 C23C014/24 | | Аналоги изобретения: | Электронная техника. Серия 10 (Микроэлектронные устройства), вып.6, 1989. |
| Имя заявителя: | Нижегородский научно-исследовательский приборостроительный институт "Кварц" | | Изобретатели: | Захаров В.Р.
Ростова Г.С.
Додонов В.А.
Титов В.А. | | Патентообладатели: | Нижегородский научно-исследовательский приборостроительный институт "Кварц" |
Реферат | |
Использование: производство микросхем ВЧ- и СВЧ-диапазонов в микроэлектронике. Сущность изобретения: способ включает очистку подложки в органическом растворителе, ее обработку в тлеющем разряде и последовательное нанесение на подложку адгезионного покрытия в две стадии и основного слоя металлизации. Нанесение адгезионного слоя путем разложения металлоорганического соединения в плазме ВЧ-разряда в две стадии при определенных режимах на каждой стадии позволяет повысить качество металлизации.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента