|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ РАЗВОДКИ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ |  |
Номер публикации патента: 1748623 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H05K003/02 | | Аналоги изобретения: | Зарубежная радиоэлектроника, 1977, N 1, с.33-34. |
| Имя заявителя: | Московский инженерно-физический институт | | Изобретатели: | Быковский Ю.А.
Козленков В.П.
Корпухин А.С.
Николаев И.Н.
Полищук Б.Ф.
Соколов |
Реферат | |
Использование: изготовление гибких коммутационных плат. Сущность изобретения: в вакуумной камере размещают пластину носителя с предварительно нанесенной пленкой полиимидного лака и медную мишень. Под действием импульсного лазерного излучения медь испаряется и осаждается на полиимид. После этого проводят гальваническое наращивание меди и с помощью фотолитографии формируют разводку. Новым в способе является нанесение первого слоя меди импульсным лазерным излучением при плотности потока энергии на поверхности мишени 109- 1010 Вт/cм2 и комнатной температуре, за счет чего удается получить оптимальное для разводки соотношение максимальной адгезии меди к полиимиду и минимального изменения размеров полиимидной пленки. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента