|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КРУПНОФОРМАТНЫХ ФОТОШАБЛОНОВ ДЛЯ МАСОК ЦВЕТНЫХ КИНЕСКОПОВ |  |
Номер публикации патента: 2076477 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H05K003/00 | | Аналоги изобретения: | 1. Патент США N 4445776, кл. H 05 K 3/00, 1984. 2. Моро У. Микролитография.- М.: Мир, 1990, с.505 - 520. |
| Имя заявителя: | Особое конструкторское бюро "МЭЛЗ" | | Изобретатели: | Красовский В.М.
Осипов В.К.
Семакин С.Ю.
Соколов А.С.
Туляков В.Н. | | Патентообладатели: | Особое конструкторское бюро "МЭЛЗ" |
Реферат | |
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении крупноформатных фотошаблонов для теневых масок цветных кинескопов. Сущность изобретения: за счет оптимизации операций перемещения фотошаблона вдоль строк нанесения элементов его топологии и условий экспонирования формируют топологии элементов. В процессе экспонирования фиксируют все случаи отсутствия излучения над участками нанесения каждого элемента фотошаблона, возвращают непроэкспонированные элементы вновь под источник излучения и осуществляют их дополнительное полноценное экспонирование. При этом формируют геометрическую структуру, достигая заданных значений размеров отдельных элементов топологии фотошаблона. 1 табл.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента