На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПЛОШНАЯ ТОНКАЯ ПЛЕНКА С АЛМАЗОПОДОБНОЙ СТРУКТУРОЙ, СПОСОБ ЕЕ ПОЛУЧЕНИЯ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 94034306

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  94034306

Реферат

Использование: получение конструкционных элементов и деталей в микроэлектронике, оптике, точной механике, медицине. Сущность изобретения: закрепленную на держателе подложку помещают в технологическую камеру. Подложку выбирают из группы материалов с порогом термической устойчивости не ниже комнатной температуры. Вакуумируют, подают рабочую газовую смесь - углеродсодержащий газ или углеродсодержащую газовую смесь при получении алмазной или углеродной алмазоподобной пленки, смесь азота с парами соединений соответствующего нитридообразующего элемента при получении нитридов, смесь углеродсодержащего газа с парами соединений соответствующего карбидообразущего соединения при получении карбидов. Создают давление 10^-4-10^-1 Торр, включают источник СВЧ-энергии, устанавливают плотность потока подводимой в зону ЭЦР мощности 0,2-5 Вт/см². Соленоиды создают магнитное поле, обеспечивающее режим ЭЦР (875 Гс) для СВЧ-излучения частотой 2,45 ГГц. На подложку подают постоянный электрический потенциал. Диафрагма из ферромагнитного материала регулирует зону ЭЦР так, чтобы подложка находилась от нее на расстоянии не менее одного линейного характерного размера. Устройство может быть дополнительно снабжено третьим соленоидом и второй диафрагмой при нанесении алмазных и алмазоподобных тонких пленок на подложки сложной произвольной формы. 3 с. п. ф-лы, 4 з.п.ф-лы, 9 ил.

Вернуться к списку