US 7799119 В2, 21.09.2010. RU 2393988 C1, 10.07.2010. US 5389153 А, 14.02.1995. US 6224836 В1, 01.05.2001. WO 1999004608 А1, 28.01.1999. US 5597624 А, 28.01.1997.
Имя заявителя:
Общество с ограниченной ответственностью "Фиберус" (RU)
Изобретатели:
Голант Константин Михайлович (RU) Бутов Олег Владиславович (RU)
Патентообладатели:
Общество с ограниченной ответственностью "Фиберус" (RU)
Реферат
Устройство относится к СВЧ генераторам низкотемпературной плазмы (СВЧ плазматронам), предназначенным преимущественно для использования в плазмохимических технологических процессах с повышенным требованием к чистоте синтезируемого продукта. Технический результат - повышение стабильности работы плазматрона на поверхностной плазменной волне в плазмохимических процессах, протекающих в широком диапазоне давлений плазмообразующего газа от нескольких Па до атмосферного. Устройство для возбуждения протяженных разрядов в потоках газов содержит источник электромагнитных СВЧ колебаний, сопряженный с металлическим волноводом прямоугольного сечения, с двумя, расположенными напротив отверстиями в центре широких стенок. Внутри волновода размещен концентратор электрического поля в виде полого, токопроводящего усеченного конуса с диаметрами оснований D и d (D>d), имеющего электрический контакт с одной широкой стенкой волновода по границе отверстия большего диаметра и зазор z между торцом основания с меньшим диаметром и противоположной стенкой волновода. Диэлектрическая трубка-реактор с протекающем через нее потоком газа проходит поперек волновода через концентратор и отверстие в противоположной широкой стенке. Величина зазора z лежит в интервале значений от /50 до /5, где - длина волны используемого источника СВЧ колебаний в вакууме. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента