КАГАДЕЙ В.А., КОЗЫРЕВ А.В. и др. Вольт-амперные характеристики отражательного разряда с полым катодом и самокалящимся элементом, ЖТФ, 2001, Т.71, 3, с.22. RU 2196395 С1, 10.01.2003. RU 2092981 С1, 10.10.1997. ЕР 0727923 А1, 21.08.1996. ЕР 0710055 А1, 01.05.1996. WO 94/06263 А1, 17.03.1994. US 6093457 А, 25.07.2000.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Кавказский государственный технический университет" (RU)
Изобретатели:
Мартенс Владимир Яковлевич (RU) Шевченко Евгений Фёдорович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Кавказский государственный технический университет" (RU)
Реферат
Изобретение относится к технике получения плазмы, частиц вещества, пучков ионов и электронов и может быть использовано при обработке деталей плазмой, а также в электронных и ионных источниках для нанесения покрытий, модификации поверхностей. Технический результат - расширение диапазона технологических применений генератора и увеличение однородности радиального распределения плотности плазмы при низком энергопотреблении и простоте конструкции генератора, а также увеличение производительности. Генератор плазмы содержит симметричную относительно общей оси систему деталей, включающую плоский катод-отражатель, кольцевой анод, кольцевой магнит, полый катод и самокалящийся элемент, расположенный в полом катоде. При этом самокалящийся элемент выполнен в виде кольца из тугоплавкого немагнитного материала с полостью для загрузки рабочего вещества и расположен вблизи магнита. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента