RU 2266629 С1, 20.12.2006. RU 2346418 С1, 10.02.2009. JP 2005251444 A, 15.09.2005. DE 3844034 A1, 08.02.1990. US 5237152 А, 17.08.1993.
Имя заявителя:
Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Московский радиотехнический институт РАН" (RU)
Изобретатели:
Грачёв Лев Петрович (RU) Есаков Игорь Иванович (RU) Раваев Александр Александрович (RU) Ходатаев Кирилл Викторович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Московский радиотехнический институт РАН" (RU)
Реферат
Устройство для инициации СВЧ-разряда и создания плазмы относится к области генерации СВЧ-газоразрядной плазмы и может найти применение в широком спектре плазменных технологий, использующих плазму газового СВЧ-разряда. Устройство инициации СВЧ-разряда и создания плазмы содержит размещенный в газовой среде инициатор, проводящую поверхность-рефлектор и СВЧ-излучатель, воздействующий на инициатор, причем в качестве инициатора использован проводящий электрический вибратор. При этом инициатор СВЧ-разряда расположен параллельно проводящей поверхности на расстоянии h, существенно меньшем одной четверти длины волны от проводящей поверхности. Проводящий электрический вибратор может быть установлен над проводящей поверхностью или на поверхности радиопрозрачного диэлектрика, расположенного между проводящей поверхностью и инициатором. Устройство может содержать произвольное количество параллельных друг другу инициаторов СВЧ-разряда, которые расположены на любом заданном расстоянии друг от друга, но без электрического контакта между собой. Технический результат - возможность обеспечить требуемые характеристики генерируемой СВЧ-разрядной плазмы в широком динамическом диапазоне работы источника СВЧ-излучения. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента