RU 2173738 С1, 20.09.2001. RU 2153016 С1, 20.07.2000. SU 1602391 A3, 23.10.1990. GB 1177053 А, 07.01.1970. US 2003133853 А1, 17.07.2003. ЕР 0160365 A1, 06.11.1985. JP 7081919 A, 28.03.1995.
Имя заявителя:
Российская академия сельскохозяйственных наук Государственное научное учреждение Всероссийский научно-исследовательский институт электрификации сельского хозяйства (ГНУ ВИЭСХ РООССЕЛЬХОЗАКАДЕМИИ) (RU), Стребков Дмитрий Семенович (RU)
Изобретатели:
Стребков Дмитрий Семенович (RU) Заддэ Виталий Викторович (RU)
Патентообладатели:
Российская академия сельскохозяйственных наук Государственное научное учреждение Всероссийский научно-исследовательский институт электрификации сельского хозяйства (ГНУ ВИЭСХ РООССЕЛЬХОЗАКАДЕМИИ) (RU) Стребков Дмитрий Семенович (RU)
Реферат
Изобретение может быть использовано в химической и электронной промышленности. Смесь кремнийсодержащих соединений с несущим газом подают по коаксиальной трубе из чистого кремния с центральным электродом из чистого кремния. Центральный электрод присоединен к потенциальному выводу высокочастотного резонансного трансформатора мощностью 1-1000 кВт и напряжением 10-1000 кВ. В струе кремнийсодержащих соединений между центральным электродом и стенками коаксиальной трубы, а также между центральным электродом и расположенным с зазором осесимметрично к центральному электроду подложкой-мишенью зажигается плазменный разряд с частотой 1-800 кГц при температуре 700-9000°С. Предложенное изобретение позволяет снизить затраты энергии на получение поликристаллического кремния и количество побочных продуктов, получаемых при производстве поликристаллического кремния, а также повысить экологическую безопасность производства. 13 н. и 100 з.п. ф-лы, 8 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента