|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| МНОГОЛУЧЕВОЙ ГЕНЕРАТОР ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ |  |
Номер публикации патента: 2333619 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05H001/24 | | Аналоги изобретения: | RU 2215383 C1, 27.10.2003. SU 791098 A1, 30.01.1982. RU 2256979 C1, 20.07.2005. EP 1253621 A1, 30.10.2002. US 2001020582 A1, 13.09.2001. |
| Имя заявителя: | Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) (RU) | | Изобретатели: | Сойфер Виктор Александрович (RU)
Казанский Николай Львович (RU)
Колпаков Всеволод Анатольевич (RU)
Колпаков Анатолий Иванович (RU) | | Патентообладатели: | Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области получения направленных потоков микросхем на активных и пассивных подложках и в дифракционной оптике низкотемпературной плазмы и генерации ионных пучков с большим током и может быть использовано в микроэлектронике при производстве интегральных микросхем, при производстве элементов дифракционной оптики.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента