|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА |  |
Номер публикации патента: 2187217 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05H001/30 | | Аналоги изобретения: | РАЙЗЕР Ю.П. и др. Высокочастотный емкостной разряд: Физика, техника эксперимента, приложения. - М.: МФТИ, 1995, с. 271-275. RU 2113073 C1, 10.06.1998. RU 2142679 C1, 10.12.1999. RU 2136125 C1, 27.08.1999. RU 95102415 A1, 27.12.1996. DE 3723865 A1, 28.01.1998. |
| Имя заявителя: | Дубинова Ирина Дмитриевна | | Изобретатели: | Дубинова И.Д. | | Патентообладатели: | Дубинова Ирина Дмитриевна |
Реферат | |
Изобретение относится к газоразрядной технике и может быть использовано для получения высокочастотного емкостного газового разряда (ВЧЕ-разряда) для различных целей, например возбуждения активных сред газовых лазеров, спектроскопии газов и их смесей, плазменного травления микросхем и др. В устройстве для получения ВЧЕ-разряда, представляющем собой диэлектрическую газонаполненную камеру, вблизи или внутри которой размещены по меньшей мере две пары параллельных проволочных электродов, некоторые из
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента