На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
МИКРОВОЛНОВЫЙ ПЛАЗМАТРОН | |
Номер публикации патента: 2153781 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H05H001/00 H05H001/24 H05H001/26 | Аналоги изобретения: | DE 1249420 A, 07.09.67. SU 1268080 A1, 19.06.95. GB 2117610 A, 12.10.83. US 4152532 A, 01.05.79. FR 2346939 A2, 02.12.77. DE 1954851 A, 13.12.73. EP 0413276 A2, 11.08.90. |
Имя заявителя: | Институт общей физики РАН | Изобретатели: | Грицинин С.И. Коссый И.А. Малых Н.И. Мисакян М.А. Тактакишвили М.И. | Патентообладатели: | Коссый Игорь Антонович Костин Владимир Владимирович |
Реферат | |
Изобретение относится к устройствам для генерации микроволновых плазменных факелов и может быть использовано для процессов плазмохимического нанесения пленок и кусковых материалов различного состава (кремниевых, алмазных, алмазоподобных и т.д.), в качестве работающей при атмосферном давлении горелки для проведения стеклодувных, кварцедувных и сварочных работ, в качестве системы очистки загрязненной воздушной среды (в производствах для очистки отходящих газов), а также при решении экологических задач. Микроволновый плазматрон включает магнетрон с системой питания, волноводный резонатор, средство вывода микроволновой энергии, коаксиальный тракт транспортировки микроволнового излучения, систему подачи рабочего газа. При этом резонатор выполнен в виде отрезка прямоугольного волновода с отверстием в широкой стенке для ввода микроволнового излучения, генерируемого магнетроном, и с отверстиями для ввода петли связи резонатора с коаксиальным трактом транспортировки микроволнового излучения, а коаксиальный тракт состоит из металлического, например медного, внешнего электрода в виде цилиндра и внутреннего центрального, выполненного из металлической, например медной, трубки, соединенной с системой подачи рабочего газа и являющейся продолжением петли связи, конечная часть центрального электрода выполнена в виде сопла Лаваля и изолирована от внешнего электрода кварцевой трубкой, внешний электрод снабжен стыкующейся с ним токопроводящей насадкой для формирования факела и защиты от микроволнового излучения, выполненной в виде полого цилиндра с прорезями или отверстиями в боковой поверхности. Техническим результатом изобретения является повышение коэффициента использования микроволновой энергии, повышение техники безопасности при работе плазматрона за счет исключения и рассеивания микроволновой энергии в окружающее пространство, а также удешевление и упрощение конструкции. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.
|