На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СВЧ - ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР

Номер публикации патента: 2149521

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  99102196		Получить полное описание патента

Реферат

СВЧ плазмохимический реактор состоит из металлической разрядной камеры, узла ввода СВЧ-энергии в разрядную камеру, подсоединенного к верхнему днищу разрядной камеры и выполненного в виде двух коаксиальных металлических труб, внутри внутренней трубы расположен элемент СВЧ-настройки, в стенке внешней трубы узла ввода выполнены одно или несколько окон, к которым подсоединены прямоугольные волноводы, на нижнем днище разрядной камеры установлена платформа для размещения обрабатываемой детали с возможностью перемещения относительно днища в направлении оси камеры, в боковой стенке разрядной камеры расположен подвижный штыревой электрод, в боковой стенке разрядной камеры у ее нижнего днища расположены тангенциально к боковой стенке сопла для ввода рабочего газа, в нижнем днище - отверстия для выхода газа. В одном из вариантов между верхним днищем разрядной камеры и узлом ввода расположено диэлектрическое кольцо, а в другом варианте разрядная камера имеет диаметр, значительно превышающий диаметр внешней трубы узла ввода, и подсоединена к нему с помощью переходного узла, состоящего из металлического тела и металлического кожуха конической формы, в зазоре между которыми в плоскости верхнего днища разрядной камеры установлено диэлектрическое кольцо. Технический результат заключается в повышении надежности, увеличении СВЧ-мощности, повышении производительности. 2 с. и 2 з.п.ф-лы, 2 ил.

Вернуться к списку