ЕР 1665907 А2, 07.06.2006. RU 2252496 С2, 20.05.2005. RU 2278483 С2, 20.06.2006. WO 03085707 A1, 16.10.2003. JP 2008053696 A, 06.03.2008.
Имя заявителя:
Борисов Владимир Михайлович (RU), Иванов Александр Сергеевич (RU), Христофоров Олег Борисович (RU)
Изобретатели:
Борисов Владимир Михайлович (RU) Иванов Александр Сергеевич (RU) Христофоров Олег Борисович (RU)
Патентообладатели:
Борисов Владимир Михайлович (RU) Иванов Александр Сергеевич (RU) Христофоров Олег Борисович (RU)
Реферат
Изобретение относится к устройству для получения мощного коротковолнового, в частности, экстремального ультрафиолетового излучения преимущественно из плазмы импульсного вакуумного разряда, инициируемого лазером между вращающимися электродами. Устройство для получения мощного коротковолнового излучения из разрядной плазмы содержит соединенные с приводами вращения электроды, каждый из которых частично погружен в ванну с жидким металлом и подключен к источнику питания, и кожухи для возврата жидкого металла в ванны. Смачиваемая жидким металлом область каждого электрода, за исключением части поверхности, содержащей рабочую зону электрода, размещена в кожухе, а часть поверхности, содержащая рабочую зону электрода, спрофилирована так, что нормаль к поверхности электрода не совпадает с направлением центробежной силы, причем в плоскости, проходящей через ось вращения электрода, проекция центробежной силы на касательную к поверхности электрода направлена в сторону кожуха, и составляющая центробежной силы по нормали к поверхности электрода меньше силы поверхностного натяжения в слое жидкого металла при его отрыве от поверхности, при этом каждый кожух выполнен из электропроводного материала и подключение к источнику питания каждого из электродов осуществлено непосредственно через кожух и заполняемый жидким металлом зазор между кожухом и электродом. Изобретение позволяет устранить выброс продуктов эрозии в конденсированной капельной фазе из источника коротковолнового излучения, повысить его кпд, энергетическую стабильность и улучшить функциональные возможности устройства для получения коротковолнового излучения. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента