Борисов Владимир Михайлович (RU), Виноходов Александр Юрьевич (RU), Иванов Александр Сергеевич (RU), Христофоров Олег Борисович (RU)
Изобретатели:
Борисов Владимир Михайлович (RU) Виноходов Александр Юрьевич (RU) Иванов Александр Сергеевич (RU) Христофоров Олег Борисович (RU)
Патентообладатели:
Борисов Владимир Михайлович (RU) Виноходов Александр Юрьевич (RU) Иванов Александр Сергеевич (RU) Христофоров Олег Борисович (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу эффективного получения коротковолнового, в частности, экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения из плазмы импульсных вакуумных разрядов преимущественно с вращающимися электродами. Изобретение может быть использовано для ЭУФ литографии, в частности, на длине волны =13,5 нм, соответствующей эффективному отражению зеркальной Mo/Si оптики. Способ получения коротковолнового излучения из плазмы вакуумного разряда заключается в облучении одного из электродов, покрытого плазмообразующим веществом, сфокусированным лазерным лучом и осуществлении основного разряда между электродами с помощью импульсного источника питания. Основной разряд осуществляют с временной задержкой после воздействия лазерного луча, и в течение временной задержки формируют вспомогательный разряд между электродами с помощью вспомогательного импульсного источника питания, причем вспомогательный импульсный разряд осуществляют током, направление которого противоположно направлению тока основного разряда, с энерговкладом, меньшим по сравнению с энерговкладом в основной разряд. Технический результат - увеличение эффективности преобразования вложенной в разряд электрической энергии в энергию коротковолнового излучения, повышение пространственной и энергетической стабильности излучающей плазмы, а также уменьшение ее эффективного размера. 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента