|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЭУФ ИСТОЧНИК С ВРАЩАЮЩИМИСЯ ЭЛЕКТРОДАМИ И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭУФ ИЗЛУЧЕНИЯ ИЗ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ |  |
Номер публикации патента: 2278483 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05G002/00 | | Аналоги изобретения: | RU 2111591 С1, 20.05.1998. SU 964820 A1, 07.10.1982. SU 1640764 A1, 07.04.1991. WO 0197575 A1, 20.12.2001. WO 0101736 A1, 04.01.2001. |
| Имя заявителя: | Борисов Владимир Михайлович (RU),Виноходов Александр Юрьевич (RU),Иванов Александр Сергеевич (RU),Кирюхин Юрий Борисович (RU),Мищенко Валентин Александрович (RU),Прокофьев Александр Васильевич (RU),Христофоров Олег Борисович (RU) | | Изобретатели: | Борисов Владимир Михайлович (RU)
Виноходов Александр Юрьевич (RU)
Иванов Александр Сергеевич (RU)
Кирюхин Юрий Борисович (RU)
Мищенко Валентин Александрович (RU)
Прокофьев Александр Васильевич (RU)
Христофоров Олег Борисович (RU) | | Патентообладатели: | Борисов Владимир Михайлович (RU)
Виноходов Александр Юрьевич (RU)
Иванов Александр Сергеевич (RU)
Кирюхин Юрий Борисович (RU)
Мищенко Валентин Александрович (RU)
Прокофьев Александр Васильевич (RU)
Христофоров Олег Борисович (RU) |
Реферат | |
Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения из газоразрядной плазмы. Сущность: заключается в том, что в качестве электродов использованы два дискообразных элемента, центральные оси симметрии которых совмещены с осью вала, периферийная часть поверхности, по крайней мере, одного из электродов покрыта слоем легкоплавкого металла, и введена система подачи легкоплавкого металла на поверхность, по крайней мере, одного из электродов, а в качестве системы инициирования р
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента