|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭКСТРЕМАЛЬНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ И ЕГО ИСТОЧНИК, ПРИМЕНЕНИЕ В ЛИТОГРАФИИ |  |
Номер публикации патента: 2249926 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05G002/00 | | Аналоги изобретения: | US 5293396 А, 08.03.1994. ЕР 0474011 А, 11.03.1992. ЕР 0181194 А, 14.05.1986. RU 2030826 С1, 10.03.1995. |
| Имя заявителя: | КОММИССАРИАТ А Л`ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) | | Изобретатели: | БАБОНО Даниель (FR)
МАРМОРЕ Реми (FR)
БОННЕ Лоранс (FR) | | Патентообладатели: | КОММИССАРИАТ А Л`ЭНЕРЖИ АТОМИК (FR) |
Реферат | |
Изобретение относится к производству экстремального ультрафиолетового излучения и к области литографии. Согласно изобретению используют по меньшей мере одну твердую мишень, излучающую экстремальное ультрафиолетовое излучение при взаимодействии с лазерным лучом, сфокусированным на обращенной к лазеру поверхности мишени.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента