US 4635282 А, 06.01.1987. RU 2252496 С2, 31.07.2002. DE 10151080 C1, 05.12.2002. US 2008023657 A1, 31.01.2008. US 4771447 A, 13.09.1988. RU 2206186 C2, 04.07.2000.
Имя заявителя:
Учреждение Российской академии наук Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН (ИСЭ СО РАН) (RU)
Изобретатели:
Федюнин Анатолий Васильевич (RU)
Патентообладатели:
Учреждение Российской академии наук Институт сильноточной электроники Сибирского отделения РАН (ИСЭ СО РАН) (RU)
Реферат
Использование: для фотолитографии и рентгеновской микроскопии. В вакуумную разрядную камеру подается рабочий плазмообразующий газ через несколько осесимметричных кольцевых сопел (5), образующих полые газовые цилиндры (15) (каскадированный газовый лайнер), в центре внутреннего кольцевого сопла высоковольтного электрода устроен канал для вывода излучения в виде конуса. При включении сильноточного импульсного генератора (4) происходит пробой внешней оболочки каскадированного лайнера (15). Нарастающий сильноточный разряд ионизирует преимущественно наружный слой внешней газовой оболочки, и под воздействием магнитного давления плазма начинает ускоренно двигаться к оси лайнера, ионизируя и вовлекая в движение внутренние оболочки. Рэлей-Тейлоровские неустойчивости, возникающие при движении внешних цилиндрических оболочек к оси, гасятся при столкновении с неподвижными внутренними оболочками. Ионы сталкиваются на оси вакуумной разрядной камеры при скорости 100-500 км/сек. Кинетическая энергия плазмы переходит в тепловую энергию, на оси вакуумной разрядной камеры образуется столб горячей плазмы (16) с температурой, достаточной для многократной ионизации атомов газа. При рекомбинации атомов происходит генерация мягкого рентгеновского излучения. Технический результат: повышение средней мощности излучения и увеличение эффективности преобразования запасенной энергии генератора в энергию мягкого рентгеновского излучения. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента