|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОРОТКОВОЛНОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ИЗ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ |  |
Номер публикации патента: 2206186 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05G002/00 H01J035/00 | | Аналоги изобретения: | DE 19753696 A1, 07.06.1999. SU 647897 A, 16.02.1979. RU 2128411 C1, 27.03.1999. US 5763930 A, 09.06.1998. |
| Имя заявителя: | Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований | | Изобретатели: | Борисов В.М.
Христофоров О.Б. | | Патентообладатели: | Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований |
Реферат | |
Изобретение может быть использовано для литографии, в частности на = 13,5 нм, в лазерах коротковолнового УФ и рентгеновского диапазона, в рентгеновской микроскопии. Техническим результатом является увеличение эффективности, энергии, средней мощности и стабильности излучения газоразрядной плазмы. Способ получения коротковолнового излучения из газоразрядной плазмы заключается в том, что в разрядной области между соосными электродами производят предыонизацию, осуществляемую через осевое отверстие в
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента