|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СВЧ - ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР |  |
Номер публикации патента: 2225684 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H05B007/18 H05H001/30 | | Аналоги изобретения: | RU 1602376 С, 15.04.1994. SU 957746 А, 07.94.1988. SU 810055 А, 15.11.1984. SU 1061690 A1, 28.02.1991. RU 1618261 С, 15.04.1994. US 5501740 А, 26.03.1996. |
| Имя заявителя: | АОЗТ "ДИГАЗКРОН" | | Изобретатели: | Леонтьев И.А.
Лысов Г.В.
Кудряшов О.Ю. | | Патентообладатели: | АОЗТ "ДИГАЗКРОН" |
Реферат | |
Изобретение относится к микроволновым СВЧ-плазменным реакторам с увеличенным объемом плазмы и может быть использовано при производстве изделий электронной техники и др. Технический результат - увеличение вкладываемой в разряд СВЧ-мощности, рабочего давления в разрядной камере, диаметра обрабатываемой детали, а также повышение надежности и производительности устройства.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента