На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИНАМИЧЕСКОЙ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ ИЗДЕЛИЙ

Номер публикации патента: 2163424

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  99112381/06		Получить полное описание патента

Реферат

Устройство для динамической плазменной обработки изделий относится к области плазменной техники, а более точно - к устройствам с косвенным нагревом дуговым разрядом, и может быть использовано как источник линейного теплового излучения при динамической плазменной обработке поверхностей неметаллических материалов, в частности электронных микросхем. Технический результат заключается в равномерном нагреве поверхности обрабатываемого изделия. В устройстве для динамической плазменной обработки изделий, содержащем водоохлаждаемые анод и катод, в наконечник которого запрессована вставка из тугоплавкого металла, корпус, сопло, обмотку магнитного управления, осциллятор, регулируемый источник постоянного тока, а также водяные и газовые коммуникации, электроды выполнены на начальном участке расходящимися, а в рабочей области - параллельными, в наконечник каждого электрода по его длине запрессована вставка из тугоплавкого металла, каждый электрод охвачен скобой, а пластины магнитопровода, связанного с обмоткой магнитного управления, и обоймы с заготовками расположены в плоскостях, параллельных плоскости электродов. Кроме того, между рабочей областью и соплом размещена дугогасительная камера с решеткой из металлических пластин. Взаимное расположение электродов и катушки магнитного управления позволяет производить обработку поверхности неметаллического изделия при помощи линейного источника теплового излучения, каким в данном случае является дуга, перемещающаяся в поперечном магнитном поле, что обеспечивает равномерный нагрев поверхности обрабатываемого изделия. При этом для обеспечения равномерного движения дуги служат магнитопровод, связанный с сердечником обмотки магнитного управления, а также скобы их магнитного материала, охватывающие электроды в рабочей области по их сечению. Уменьшение контракции дуги обеспечивается за счет наличия в наконечнике каждого электрода по его длине вставки из тугоплавкого металла с более низким, чем у основного материала электрода, потенциалом выхода электронов, а также формой наконечника электрода. Наличие разрядной камеры призвано облегчить гашение дуги после прохождения ею рабочей области, что уменьшает термическую нагрузку на элементы устройства. В своей совокупности признаки предлагаемого устройства являются существенными для достижения указанного технического результата. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

Вернуться к списку