|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИСПАРИТЕЛЬ |  |
Номер публикации патента: 2058424 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | C23C014/26 H05B007/18 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 910842, кл. C 23C 14/26, 1979. 2. Патент США N 3504094, кл. 13-31, 1970. |
| Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт точного машиностроения | | Изобретатели: | Карамышев А.В.
Буравцев А.Т. | | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт точного машиностроения |
Реферат | |
Использование: в микроэлектронике, устройствах для нанесения покрытий. Сущность изобретения: испаритель, содержащий тигель, нагреватель и формирователь потока пара, снабжен рыхлителем, установленным внутри плоского со щелевидной полостью тигля с возможностью возвратно-поступательного перемещения. Между формирователем потока пара и рыхлителем размещена соединенная с ними форсунка. Дополнительно предусмотрены формы выполнения тигля, рыхлителя и форсунки. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента