|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНОЕ РАЗРЯДНОЕ УСТРОЙСТВО |  |
Номер публикации патента: 1829879 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H05H001/46 H05B007/18 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1316544, кл. H 05 H 1/18, 1985. Авторское свидетельство СССР N 1128748, кл. H 05 B 7/18, H 05 H 1/34, 1983. |
| Имя заявителя: | Минский радиотехнический институт | | Изобретатели: | Достанко А.П.
Грушецкий С.В.
Вашкевич В. |
Реферат | |
Использование: плазменная техника, электронная, радиотехническая и приборостроительная промышленность при создании интегральных схем, оптоэлектронных и оптических приборов, а также при обработке больших поверхностей стекол зеркал или линз. Сущность изобретения: система возбуждения электромагнитного поля в сверхвысокочастотном разрядном устройстве выполнена в виде двух гребенчатых структур. Гребенчатые структуры установлены спирально на одной из стенок резонатора прямоугольной формы и подсоединены к одному из двух независимых СВЧ-генераторов. Данное выполнение позволяет повысить равномерность распределения плотности потока мощности электромагнитного поля по поверхности генерируемой плазмы. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента