RU 2305253 C1, 27.08.2007. RU 2273115 C1, 27.03.2006. SU 1525949 A2, 30.11.1989. RU 2047944 C1, 10.11.1995. RU 2247443 C1, 27.02.2005. US 2005238188 A1, 27.10.2005. US 2003016838 A1, 19.04.2001.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" (СПбГЭТУ "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) (RU), Войсковая часть 35533 (В/ч 35533) (RU)
Изобретатели:
Ветров Андрей Анатольевич (RU) Ильков Владимир Константинович (RU) Комиссаров Станислав Сергеевич (RU) Корляков Андрей Владимирович (RU) Лучинин Виктор Викторович (RU) Сергушичев Александр Николаевич (RU) Ширшов Андрей Андреевич (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина)" (СПбГЭТУ "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) (RU) Войсковая часть 35533 (В/ч 35533) (RU)
Реферат
Изобретение относится к оптико-электронному приборостроению и микротехнологии и может быть использовано в конструкции микроминиатюрных приемников акустических сигналов специального назначения. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности, упрощение конструкции, расширение интервала рабочих температур и давлений по месту установки интерферометрического сенсора. Оптический микрофон содержит лазерный источник оптического излучения 1, интерферометрический сенсор 2, оснащенный звукочувствительной микромембраной 3 с гофрами 3а и светоотражающей площадкой 3б, оптико-электронный преобразователь 4, включающий волоконно-оптический разветвитель 5, фотодетектор 6 и усилитель электрического сигнала 7. Звукочувствительная гофрированная микромембрана выполнена из нитрида кремния стехиометрической структуры с механическим напряжением от 10 до 80 кПа, планарная светоотражающая площадка 3б выполнена из Au, Pt или W. Дополнительно предложен способ изготовления звукочувствительной микромембраны. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 4 ил., 3 табл.