|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ МАТЕРИАЛА, ПОКРЫТОГО ОРГАНИЧЕСКИМ ВЕЩЕСТВОМ, ГЕНЕРАТОР И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ СПОСОБА |  |
Номер публикации патента: 2308546 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | C23G005/00 H01J037/32 H03K003/02 | | Аналоги изобретения: | US 5968377 A, 19.10.1999. SU 387507 A1, 21.06.1973. US 5938854 A, 17.08.1999. SU 935141 A1, 15.06.1982. RU 2055947 C1, 10.03.1996. |
| Имя заявителя: | ЮЗИНОР (FR) | | Изобретатели: | ШАЛЕ Даниель (FR)
ШОКЕ Патрик (FR)
БАРАВЬЯН Жерар (FR)
ЛАКУР Бернар (FR)
ПЮЭШ Венсан (FR) | | Патентообладатели: | ЮЗИНОР (FR) |
Реферат | |
Изобретение касается разработки способа, обеспечивающего непрерывную очистку поверхности подложки без образования экологически токсичных сопутствующих продуктов со скоростью обработки, превышающей 10 м/мин. Способ включает помещение материала в зону обработки, питаемую газовым потоком, содержащим кислород, подключение материала к массе, генерирование плазмы путем размещения электрического поля между материалом и по меньшей мере одним электродом, покрытым диэлектриком, при этом электрическое поле
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента