Федеральное государственное унитарное предприятие Омский научно-исследовательский институт приборостроения (ФГУП ОНИИП) (RU)
Изобретатели:
Ермоленко Сергей Владимирович (RU) Лысенко Константин Сергеевич (RU) Прохоренко Оксана Владимировна (RU) Ярош Анатолий Михайлович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие Омский научно-исследовательский институт приборостроения (ФГУП ОНИИП) (RU)
Реферат
Изобретение относится к пьезотехнике и может использоваться в производстве фильтровых и генераторных резонаторов из кварца и сильных пьезоэлектриков. Техническим результатом изобретения является повышение надежности защитного покрытия высокочастотных резонаторов путем оптимизации толщины адгезионного подслоя на операциях напыления защитного и электродного покрытия, а также повышение производительности изготовления резонаторов за счет оптимизации состава раствора для удаления покрытий. Способ изготовления пьезоэлементов (ПЭ) для высокочастотных резонаторов включает механическую шлифовку и полировку пластин из пьезоэлектриков, напыление на пластины металлических пленок защитного покрытия с адгезионным подслоем ванадия, формообразование кристаллических элементов химическим травлением, удаление защитного покрытия в растворах кислот и напыление электродов с адгезионным подслоем ванадия на кристаллические элементы, причем при напылении защитного покрытия толщина пленки ванадия составляет 5-10 нм, а при напылении электродов пленки ванадия наносят с толщиной 15-20 нм, при этом удаление защитного покрытия и электродов при необходимости осуществляют в водном растворе, содержащем 0,4-0.5% об. HCl и 4-7% об. H 2O2. 1 з.п. ф-лы, 6 ил., 2 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента