

	Главная Патентный отдел Технологии Справочник ГРНТИ Прием Наши координаты Обратная связь

Поиск патентов

Оформить заказ и задать интересующие Вас вопросы Вы можете напрямую c 6-00 до 14-30 по московскому времени кроме сб, вс. whatsapp 8-950-950-9888

Патентный отдел

На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ НАСТРОЙКИ РЕЗОНАТОРА НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ

Номер публикации патента: 2452079

Вид документа:	C1
Страна публикации:	RU
Рег. номер заявки:	2011107883/08

Получить полное описание патента

Редакция МПК:	6
Основные коды МПК:	H03H003/10
Аналоги изобретения:	RU 2190922 C2, 10.10.2002. RU 1783947 C, 09.01.1995. RU 1750406 C, 15.06.1994. EP 1221770 A1, 10.07.2002. US 4364016 A1, 14.12.1982.

Имя заявителя:	Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "ЭЛПА" с опытным производством" (ОАО "НИИ "ЭЛПА") (RU)
Изобретатели:	Голубский Александр Алексеевич (RU) Трусов Анатолий Аркадьевич (RU) Галанов Геннадий Николаевич (RU) Нерсесов Сергей Суренович (RU)
Патентообладатели:	Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт "ЭЛПА" с опытным производством" (ОАО "НИИ "ЭЛПА") (RU)

Реферат

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления интегральных пьезоэлектрических устройств (фильтры, резонаторы, линии задержки на поверхностных акустических волнах (ПАВ)), которые находят широкое применение в авионике и бортовых системах, телекоммуникации. Технический результат заключается в увеличении выхода годных за счет уменьшения разброса частот в партии резонаторов, в увеличении стабильности резонаторов на ПАВ, в увеличении производительности процесса за счет поштучной обработки нескольких одновременно вакуумируемых резонаторов методом реактивного ионно-лучевого травления (РИЛТ) в газовом разряде предельного фторуглерода. В качестве предельного фторуглерода используется или тетрафторметан (CF₄), или октафторпропан (C₃F₈), или октафторциклобутан (С₄А₈), или октафторциклобутан (G₁₀ F₁₈). 1 табл.

Вернуться к списку

Дирекция сайта "Промышленная Сибирь"
Россия, г.Омск, ул.Учебная, 199-Б, к.408А
Сайт открыт 01.11.2000
© 2000-2018 Промышленная Сибирь

Разработка дизайна сайта:
Дизайн-студия "RayStudio"