На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ НАСТРОЙКИ ЦЕНТРАЛЬНОЙ ЧАСТОТЫ РЕЗОНАТОРОВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ | |
Номер публикации патента: 1783947 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H03H003/08 | Аналоги изобретения: | Патент США N 4364016, кл. H 03H 3/08, опублик. 1982. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт "Пульсар" | Изобретатели: | Кондратьев Ю.П. Тимашев В.В. Федорец В.Н. Федосов В.И. | Патентообладатели: | Кондратьев Юрий Павлович Тимашев Владимир Викторович Федорец Владимир Николаевич Федосов Виталий Ивано |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления резонаторов на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - увеличение процента выхода годных резонаторов. В предложенном способе настройки центральной частоты резонаторов на поверхностных акустических волнах перед измерением центральной частоты дополнительно проводят обработку резонатора в плазме нейтрального газа в течение 200 - 300 с.
|