|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕЗОНАТОРОВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ |  |
Номер публикации патента: 1335110 |  |
| Редакция МПК: | 5 | | Основные коды МПК: | H03H003/10 | | Аналоги изобретения: | Фильтры на поверхностных акустических волнах. Под ред. Г.Мэттьюза, М.: Радио и связь, 1981, с.187-189. |
| Имя заявителя: | Федосов В.И | | Изобретатели: | Федосов В.И
Кислякова О.В.
Федорец В.Н.
Тимашев В.В.
Кондратьев Ю.П. | | Патентообладатели: | Федосов В.И
Кислякова О.В.
Федорец В.Н.
Тимашев В.В.
Кондратьев |
Реферат | |
Изобретение относится к радиоэлектронике. Целью изобретения является увеличения выхода годных за счет уменьшения разброса центральной частоты. В процессе формирования системы канавок отражательных решеток резонатора на поверхностных акустических волнах их дополнительно вытравливают на величину, равную 10 - 15% от заданной глубины, а перед вытравливанием электропроводящего материала из канавок проводят селективно ионнохимическое травление рабочей грани пьезоэлектрической подложки в области системы канавок отражательных решеток. Селективное ионно-химическое травление проводят в течение времени T, определяемого соотношением T = A(fном-fц)/V·fном,c , где А - скорость травления материала пьезоэлектрической подложки, м/с; A-(6-7)·104 - коэффициент пропорциональности, м; fном - номинальное значение центральной частоты, Гц; fц - экспериментально определенное значение центральной частоты контрольного образца, Гц.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента