На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ АТ - СРЕЗА

Номер публикации патента: 95109399

Вид документа:  A1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95109399

Реферат

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано для изготовления тонких кристаллических элементов /КЭ/ высокочастотных пьезоэлектрических приборов, например, кварцевых резонаторов и монолитных фильтров. Цель: повышение производительности и выхода годных кварцевых кристаллических элементов с высоким качеством поверхности. Сущность изобретения: в способе изготовления кварцевых кристаллических элементов АТ-среза, включающем механическую обработку заготовок из кварца и их химико-динамическое травление в кислотном растворе с поверхностно-активными добавками диметилформамида или бутанола, проводимое при 348 - 373К в два этапа, на первом этапе химико-динамическое травление осуществляют в кислотном растворе с добавкой бутанола и получают заготовку с шероховатостью поверхности равной или большей 0,04 мкм. На втором этапе химикодинамическое травление осуществляют с добавкой диметилформамида и получают шероховатость поверхности КЭ не более 0,02 мкм. При этом величину шероховатости в обоих вариантах измеряют по "штрихам" травления вдоль линии, составляющей угол 30^o относительно кристаллографической оси Х в кварце. Динамическое сопротивление резонаторов, изготовленных с применением предлагаемого способа, меньше в среднем на 30%, чем для прототипа. Кроме того, выход годных резонаторов с добротностью 15·10³ и выше, полученных новым способом, достигает 75%, по сравнению с 60% по прототипу.

Вернуться к списку