US 2005/0156484 A1, 21.05.2005. RU 2101855 C1, 10.01.1998. RU 2101853 C1, 10.01.1998. WO 99/21001 A1, 29.04.1999. US 5189914 A, 02.03.1993. US 5212988 A, 25.05.1993.
Имя заявителя:
ОАО "НПО "ЭРКОН" (RU)
Изобретатели:
Двоешерстов Михаил Юрьевич (RU)
Патентообладатели:
ОАО "НПО "ЭРКОН" (RU)
Реферат
Изобретение относится к акустоэлектронным устройствам на поверхностных акустических волнах (ПАВ) и может быть использовано для определения физических и химических параметров газовых сред (жидкости), преимущественно для создания беспроводных дистанционных аналитических систем на основе ПАВ-сенсоров и систем радиочастотной идентификации. Акустоэлектронный ПАВ-сенсор содержит разделенные вакуумным зазором две монокристаллические пьезопластины, на внутренней поверхности одной из которых сформированы два идентичных, расположенных напротив друг друга встречно-штыревых преобразователя, один из которых входной передающий, служащий для преобразования входного электрического сигнала в электроакустическую волну, и выходной приемный, служащий для преобразования электроакустической волны в электрический сигнал; входной порт для входа газа или жидкости в вакуумный зазор; выходной порт для выхода газа или жидкости из вакуумного зазора. Толщины пьезопластин