На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ

Номер публикации патента: 1552979

Вид документа:  A1  Страна публикации:  SU  Рег. номер заявки:  4430557		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к пьезотехнике и может использоваться для обработки различных кристаллических элементов. Целью изобретения является повышение выхода годных резонаторов. В соответствии с предлагаемым способом после механической шлифовки кварцевых пластин производят глубокое травление в технологическом растворе на основе HF в несколько циклов, моделируя одно- или двояковыпуклый профиль линзы в зоне обратной мезаструктуры. Для этого в каждом цикле в центральную область рабочей зоны кварцевой пластины наносят соосно с рабочей зоной защитное покрытие в форме круга, радиус которого на каждом последующем этапе увеличивают в соответствии с выражением r_i=i_r/n, где r_i - радиус защитного покрытия, м; r - радиус рабочей зоны, м; n - число ступеней моделирования сферы; i - номер цикла глубокого травления, соответствующий номеру защитного покрытия. Время каждого цикла глубокого травления выбирают по формуле t_i=r²(2i-1)/2n²VR, где t_i - время глубокого травления на i-ом цикле, с; R - радиус модельной сферы, м; V - скорость травления кварца, м/с. Пьезоэлементы с выпуклым линзообразным профилем имеют меньшее динамическое сопротивление и большую добротность, что обеспечивает повышение выхода годных резонаторов. 1 ил.

Вернуться к списку