На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПЬЕЗОСКАНЕР С ТРЕХКООРДИНАТНЫМ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫМ ПЕРЕМЕЩЕНИЕМ В ПЛОСКОСТИ ОБЪЕКТА | |
Номер публикации патента: 2227363 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H02N002/00 H01L041/09 | Аналоги изобретения: | RU 2069056 С1, 10.11.1996. RU 2018188 С1, 15.08.1994. US 5200617, 06.04.1993. US 6437343 В1, 20.08.2002. US 4945235, 31.07.1990. |
Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" | Изобретатели: | Быков В.А. Соколов Д.Ю. | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологии, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим микроперемещения по трем координатам (Х, Y, ) в плоскости объекта и по одной координате, перпендикулярной плоскости объекта. Например, для перемещения зондов или образцов в зондовой микроскопии. Сущность изобретения: пьезосканер содержит основание с закрепленной на нем одним концом первой пьезотрубкой с электродами на наружной и внутренней поверхностях, первый соединительный элемент, установленный на другом ко
|