WO 2004013940 А2, 12.02.2004. ЕР 1008210 В1, 28.06.2006. RU 2113749 С1, 20.06.1998. ЕР 1137126 А1, 26.09.2001. US 7099365 В2, 29.08.2006.
Имя заявителя:
Христофоров Олег Борисович (RU)
Изобретатели:
Христофоров Олег Борисович (RU)
Патентообладатели:
Христофоров Олег Борисович (RU)
Реферат
Изобретение относится к квантовой электронике, в частности к компактным импульсно-периодическим эксимерным лазерам с УФ предыонизацией. Эксимерный лазер содержит протяженный керамический корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор и электроды. При этом керамический корпус лазера выполнен из n (n2) цилиндрических модулей, герметично соединенных между собой с помощью уплотнителей в форме о-рингов, выполненных преимущественно из резины, стойкой к воздействию галогеносодержащих газов. В частном случае реализации устройства, в области стыков цилиндрических модулей керамического корпуса, на их наружных поверхностях, может быть размещено (n-1) пар скрепленных между собой фланцев, выполненных из диэлектрического материала, при этом уплотнители в форме о-рингов будут размещены между каждыми скрепленными между собой фланцами. Технический результат заключается в обеспечении возможности получения высоких значений энергии генерации в долговременном режиме. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.