|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЛАЗЕРНЫЙ ЛИТОГРАФИЧЕСКИЙ ИСТОЧНИК СВЕТА С ДОСТАВКОЙ ПУЧКА |  |
Номер публикации патента: 2340057 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01S003/02 H01S003/09 H01S003/097 | | Аналоги изобретения: | US 6128323 А, 03.10.2000. WO 0129939 A1, 26.04.2001. RU 2032259 C1, 27.03.1995. WO 0197345 A1, 20.12.2001. US 3982200 A, 21.09.1976. |
| Имя заявителя: | САЙМЕР, ИНК. (US) | | Изобретатели: | КЛЕНЕ Брайан С. (US)
ДАС Палаш П. (US)
ГРОУВ Стивен Л. (US)
ЕРШОВ Александр И. (US)
СМИТ Скотт Т. (US)
ПАН Ксиаодзианг Дж. (US)
СЭНДСТРОМ Ричард Л. (US) | | Патентообладатели: | САЙМЕР
ИНК. (US) |
Реферат | |
Система очень узкополосного двухкамерного газоразрядного лазера с высокой частотой следования содержит две отдельные разрядные камеры, одна из которых является частью задающего генератора, формирующего очень узкополосный посылаемый пучок, который с помощью ретрансляционной оптики направляется через вторую разрядную камеру для получения усиленного выходного пучка, блок доставки пучка, содержащий конструкцию ограждения пути прохождения пучка, образующую путь прохождения лазерного пучка до входного
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента