|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СИСТЕМА ДВУХКАМЕРНОГО F |  |
Номер публикации патента: 2298271 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01S003/02 H01S003/09 H01S003/097 | | Аналоги изобретения: | US 6128323A, 03.10.2000. WO 0129939, 26.04.2001. RU 2032259 C1, 27.03.1995. WO 0197345, 20.12.2001. US 3982200 A, 21.09.1976. |
| Имя заявителя: | САЙМЕР, ИНК. (US) | | Изобретатели: | НОУЛЕС Дэвид С. (US)
БРАУН Дэниел Дж. В. (US)
СЭНДСТРОМ Ричард Л. (US)
РИЛОВ Герман Е. (US)
ОНКЕЛЬС Эккехард Д. (US)
БЕЗОСЕЛЬ Эрве А. (US)
МАЙЕРС Дэвид В. (US)
ЕРШОВ Александр И. (US)
ПАРТЛО Вилльям Н. (US)
ФОМЕНКОВ Игорь В. (US)
УЖАЗДОВСКИ Ричард К. (US)
НЕСС Ричард М. (US)
СМИТ Скотт Т. (US)
ХАЛБЕРД Вилльям Дж. (US) | | Патентообладатели: | САЙМЕР
ИНК. (US) |
Реферат | |
Изобретение относится к лазерной технике, к двухкамерным узкополосным газоразрядным лазерам, и может быть использовано в качестве источника света для литографии интегральных схем. Предусмотрено две отдельные газоразрядные камеры, одна из которых является частью задающего генератора, генерирующего очень узкополосный затравочный пучок, который усиливается во второй разрядной камере.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента