|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ОЧИСТКИ ГАЗОВОЙ СМЕСИ ЭКСИМЕРНОГО KRF ЛАЗЕРА |  |
Номер публикации патента: 2076414 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | H01S003/04 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4674099, кл. 372-59, 1984. Патент Великобритании N 2126327, кл. F 25 J 3/08, 1980. |
| Имя заявителя: | НПВП "Лазерная лаборатория" | | Изобретатели: | Петрухин Е.А. | | Патентообладатели: | НПВП "Лазерная лаборатория" |
Реферат | |
Использование: применяется в системе очистки газовой смеси эксимерного лазера. Сущность: способ очистки газовой смеси эксимерного KrF - лазера, основанной на использовании криогенного фильтра и блока очистки инертных газов от примесей. Причем газовая смесь лазера очищается в два этапа: вначале при помощи криофильтра, охлажденного до температуры 76К, из газовой смеси вымораживаются примесные фторорганические компоненты и криптон, затем криофильтр отсоединяется от лазерной камеры, его температура повышается выше 100К и он подсоединяется к блоку очистки инертных газов от примесей. Такой способ очистки газовой смеси позволяет значительно увеличить время жизни газовой смеси KrF - лазера. 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента