На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНЖЕКЦИОННОГО ЛАЗЕРА | |
Номер публикации патента: 1831213 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01S003/19 | Аналоги изобретения: | Патент США N 414216, кл. H 01 S 3/19, 1979. Авторское свидетельство СССР N 207568, кл. H 01 S 3/19, 1983. |
Имя заявителя: | НИИ "Полюс" | Изобретатели: | Давыдова Е.И. Лобинцов А.В. Рыжов И.Ю. Успенский М.Б. Шишкин |
Реферат | |
Использование: изобретение может быть использовано при изготовлении полупроводниковых инжекционных лазеров, применяемых в устройствах обработки оптической информации, измерительной, медицинской и вычислительной технике. Сущность: на гетероэпитаксиальной структуре формируют фоторезистивную маску и по ней вытравливают мезаполоску методом ионно-химического травления, проводят анодное окисление рельефной поверхности с последующим удалением окисла селективным тpавлением, наносят запорный контакт, удаляют его вместе с фоторезистивной маской с вершины мезаполоски методом "взрыва фоторезиста", после чего наносят слой омического контакта. 2 ил.
|