На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ МАГНИТНЫХ ПЛЕНОК | |
Номер публикации патента: 2127929 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | H01L051/40 | Аналоги изобретения: | U.Petrov at al. Jon synthhesis of the granular ferromagnetic films in polymethylmetathacrylate, Sol.St. Comm., 1996, v.98, N 5, p.361-364. US 4751100 A, 1988. RU 2060567 C1, 1996. |
Имя заявителя: | Казанский физико-технический институт Казанского научного центра РАН | Изобретатели: | Петухов В.Ю. Ибрагимова М.И. Хайбуллин И.Б. | Патентообладатели: | Казанский физико-технический институт Казанского научного центра РАН |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к технологии получения тонких (≅ 0,1 мкм) магнитных пленок с применением метода имплантации ионов магнитных элементов в материал подложки и может быть использовано в микроэлектронике и информатике, в частности для изготовления магнитных и магнитооптических запоминающих сред. Технический результат изобретения заключается, во-первых, в улучшении магнитных характеристик пленки за счет уменьшения числа радиационных нарушений и, во-вторых, в сокращении времени имплантации и удешевлении процесса. Сущность изобретения: в качестве подложки используют полиэтилентерефталат. Имплантацию ионов железа в подложку осуществляют с дозой 1016--1017 ион/см2 при плотности потока ионов 6х1012-1014 ион/см2c.
|