|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ХОЛЛА |  |
Номер публикации патента: 94018291 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94018291 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Московский государственный институт электронной техники | | Изобретатели: | Амеличев В.В.
Галушков А.И.
Романов И.М.
Чаплыгин Ю |
Реферат | |
Интегральный элемент Холла представляет собой структуру, выполненную на полупроводниковой пластине первого типа проводимости, содержащей диффузионную область второго типа проводимости, внутри которой располагается полупроводниковая меза-область, окруженная диэлектрической изоляцией. Внутри меза-области располагается электрод затвора на тонком подзатворном диэлектрике, а также две области токовых и две области холловских контактов. Кроме того, для уменьшения остаточного напряжения элемента Холла, связанного с нарушением симметричности расположения токовых и холловских контактов один относительно другого, а также окружающих их областей, вызванной рассовмещением топологических слоев при формировании активных областей МДП- структур, холловские и токовые контакты, низкоомная область второго типа проводимости, боковая диэлектрическая изоляция, определяющая края контактных окон к диффузионным областям холловских и токовых контактов, выполнены самосовмещенно относительно электрода затвора, и соответственно один относительно другого. Предлагаемый элемент может найти применение при измерении магнитных полей в виде датчика в магнитоуправляемых схемах электронной автоматики или в качестве чувствительного элемента в интегральных магнитоуправляемых схемах. 3 ил.
|
Поиск патентов