Мягков Игорь Вениаминович (RU) Соколов Дмитрий Юрьевич (RU)
Патентообладатели:
ЗАО "Нанотехнология МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к устройствам механического перемещения объектов вдоль одной координаты. Оно может быть использовано, например, в сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) для сближения зонда и образца. Сущность изобретения заключается в том, что в инерционный шаговый двигатель, включающий основание, на котором первым концом закреплен первый пьезомодуль, соединенный вторым концом с первым концом направляющей, сопряженной с подвижной кареткой, введен кронштейн, закрепленный на основании и сопряженный со вторым концом направляющей. Технический результат изобретения заключается в повышении стабильности работы двигателя и его надежности, а именно в повышении долговечности работы устройства за счет уменьшения вероятности разрушения первого пьезомодуля, в уменьшении внутренних люфтов в цепочке: основание - первый пьезомодуль - направляющая. Данная конструкция позволяет также исключить клеевое соединение этих элементов, что целесообразно в условиях термоциклирования, где клей не всегда выдерживает этот процесс. Помимо этого увеличивается ремонтопригодность конструкции. 9 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента