|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПОЗИЦИОНИРУЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО |  |
Номер публикации патента: 2080631 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G02B021/26 H01L041/08 | | Аналоги изобретения: | Muralt, Pohl, Denk, JBM Res. Develop, N 30, N 5, 1986, с. 443-450. |
| Имя заявителя: | Дукаревич Юрий Ефимович | | Изобретатели: | Дукаревич Ю.Е.
Таганов И.Н. | | Патентообладатели: | Дукаревич Юрий Ефимович |
Реферат | |
Использование: в области нанотехнологии, в том числе для нужд сканирующей туннельной микроскопии (СТМ). Сущность изобретения: позиционирующее устройство выполнено в виде монолитной симметричной H-образной стержневой конструкции, состоящей из стержней с упругими цилиндрическими шарнирами на концах и в середине стержней, причем оси шарниров параллельны оси OZ (оси СТМ-острия). Боковые стержни ортогональны центральному стержню и жестко соединены с корпусом устройства через линейные пьезоэлектрические элементы. В середине центрального стержня закреплено звено, несущее рабочий орган (СТМ-острие) и оптическую шкалу датчика линейных перемещений. Устройство содержит также бесконтактный датчик силы, статор и ротор которого закреплены на корпусе и рабочем звене соответственно. 1 з.п. ф-лы, 4 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента