RU 2240205 C1, 20.11.2004. SU 1786749 A1, 20.09.1996. US 5413988 A, 09.05.1995. US 5077269 A, 31.12.1991. US 5059585 A, 22.10.1991. WO 89/05283 A1, 15.05.1989. JP 4021522 A, 24.01.1992.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU)
Изобретатели:
Григорашвили Юрий Евгеньевич (RU) Верюжский Иван Васильевич (RU) Мингазин Владислав Томасович (RU) Бухлин Александр Викторович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU)
Реферат
Изобретение относится к способу получения сверхпроводниковых изделий на основе керамики состава Bi-Pb-Sr-Ca-Cu-O и может быть использовано для изготовления мишеней, предназначенных для получения наноразмерных пленок высокотемпературного сверхпроводника (ВТСП) методом магнетронного напыления. Техническим результатом изобретения является разработка способа изготовления многокомпонентной мишени для магнетронного напыления сверхпроводниковых пленок состава Bi-Pb-Sr-Ca-Cu-O, которая имеет эффективный теплоотвод от керамики в процессе напыления и защищена от растрескивания. Сущность изобретения: в способе изготовления мишени для магнетронного нанесения сверхпроводниковых пленок состава Bi-Pb-Sr-Ca-Cu-O, включающем загрузку сверхпроводящего мелкодисперсного порошка в стакан, помещение стакана в пресс-форму и прессование с помощью стального пуансона, используется стакан из меди, дно и боковые стенки которого облужены слоем свинца, а в момент прессования стакан нагревается до температуры плавления свинца. 2 з.п. ф-лы, 6 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента