|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ СО СВЕРХПРОВОДЯЩИМИ КОМПОНЕНТАМИ |  |
Номер публикации патента: 2181222 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | H01L039/24 | | Аналоги изобретения: | Конструирование и технология микросхем./Под ред. Л.А.Коледова. - М.: Высшая школа, 1984, с. 141. SU 1715152 A1, 27.02.1996. JP 11074573 A, 16.03.1999. RU 2126568 C1, 20.02.1999. RU 2084032 C1, 10.07.1997. RU 2083032 C1, 27.06.1997. RU 2013823 C1, 30.05.1994. RU 2054212 C1, 10.02.1996. JP 6291374 A, 18.10.1994. JP 4061177 A, 27.02.1992. JP 8213662 A, 20.08.1996. |
| Имя заявителя: | Новосибирский государственный технический университет | | Изобретатели: | Фирсов Н.И.
Новиков И.Л.
Хуснутдинов Р.Ф.
Квасов С.Б. | | Патентообладатели: | Новосибирский государственный технический университет |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при производстве интегральных схем и гибридных интегральных схемах для изготовления сверхпроводящих квантовых интерференционных детекторов и других высокотемпературных сверхпроводящих толстопленочных элементов. Способ включает нанесение толстой сверхпроводящей пленки на керамическую подложку, высокотемпературную обработку и фрезерование пленки. При этом вначале проводят фрезерование керамической подложки в соответствии с топологическим рисунком схемы, в углубления полученного рельефа закладывают сухой порошок высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7. Проводят высокотемпературную обработку при температуре 950oС в атмосфере кислорода. В результате такого выполнения обеспечивается увеличение плотности критического транспортного тока в межсоединениях и переходах Джозефсона. Снижается вероятность отслаивания элементов схемы от подложки при высокотемпературной обработке в атмосфере кислорода. Обеспечивается изопланарность подложки и элементов топологического рисунка. 6 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента