На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ СОЗДАНИЯ КОНФИГУРАЦИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫХ СВЕРХПРОВОДНИКОВ | |
Номер публикации патента: 2045114 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | H01L039/22 | Аналоги изобретения: | 1. Vappl. Phys. Lett, 1989, N 54, N 14, p.1368-1370. |
Имя заявителя: | Минский радиотехнический институт (BY) | Изобретатели: | Лыньков Леонид Михайлович[BY] Карелин Юрий Кириллович[BY] Мочальник Наталья Анатольевна[BY] | Патентообладатели: | Минский радиотехнический институт (BY) |
Реферат | |
Использование: для изготовления сверхпроводниковых структур при формировании технологического рельефа гибридных, интегральных и криомикросхем. Цель: повышение разрешающей способности. Сущность изобретения: после осаждения слоя тугоплавкого металла проводят его термообработку в среде водорода, в качестве тугоплавкого металла используют цирконий.
|